R14 四氟化碳或者全氟化碳（R14）
四氟化碳特性
超低温制冷剂R14。R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon 14等，中文名称四氟化碳、全氟化碳，英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。R-14属于fc类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
作为低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术，四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
四氟化碳质量标准
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纯度≥ |
99.9% |
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沸点（1atm/℃） |
-128.1 |
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水份< |
5ppm |
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硫< |
1ppm |
包装规格
净重:5kg （可重复使用10L钢瓶）
净重：30kg（可重复使用40L钢瓶）
